仪器硬件配置
仪表类型：CAMECA SX100
电子光学柱规格
加速电压：高达50 KV束流：在1-1000 nA范围内自动调节；手动控制以降低电流
分析配置
1. x射线起飞几何形状：40°2。波长色散光谱仪：五台，异步，配置为
规范。# |
类型* |
衍射装置 |
|---|---|---|
1 |
LP |
TAP， PET, PC0（2d=45Å）， PC1（2d=62.5Å） |
2 |
LP |
水龙头、宠物 |
3 |
惠普 |
生活,宠物 |
4 |
惠普 |
LPET, LLiF |
5 |
LP |
TAP， PET, PC3 （2d=200Å）， PC2 （2d=95Å） |
* LP：低压（2-4 psi） P10气体，薄聚丙烯窗在柱和检测器
3. 能量色散x射线探测器：在NORAN系统7自动化下运行的热超干硅漂移探测器。
成像硬件
二次电子探测器：Cameca标准
背散射电子探测器：Cameca电视速率，可变增益（快速）BSE
阴极发光探测器：GATAN PanaCL/F与可拆卸的RGB波长带滤波器
自动化
我们的SX100配备了CAMECA PEAKSIGHT软件和约翰多诺万的全探针EPMA系统。
