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扫描电子显微镜(SEM)

Students using the ZEISS NEON High Resolution SEM

扫描电子显微镜(SEM)

登录iLab查看时间表和可用性,或发送电子邮件给Preston Larson博士(plarson@ou.edu)询问有关SEM的问题和咨询。

SEM功能文档(PDF)提供了SEM功能的图形概述。

我们很高兴回答任何问题,并与您一起获得新的能力。

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位于GLCH房间48(地下室)|ThermoFisher Quattro S可用性  

我们的ThermoFisher Quattro S是一个多功能的成像和分析平台

  • 场发射源
  • 高真空(0.2-30kV)成像
  • 低真空成像高达4000pa (30torr),用于未涂层/除气样品的成像
  • ESEM模式用于变压力/湿/潮湿样品
  • 原位加热/冷却(-25-40℃)
  • 定向后向散射探测器
  • 30 mm2 UltraDry EDS系统
  • ColorSEM合成成像软件
  • 类星体II型CMOS电子背散射衍射(EBSD)探测器
  • 易于使用的软件/ NavCam与全彩光学特征相关联
  • MAPS软件用于大面积/蒙太奇成像,制图和分析
  • 探路者高山分析套件
  • 光束减速级偏置在一定条件下的图像优化
  • 一体化等离子清洗机
Thermo Quattro S field-emission environmental Scanning Electron Microscope (FE-ESEM).
Images from the Thermo Quattro S field-emission environmental Scanning Electron Microscope (FE-ESEM).
用户界面截图。

位于GLCH 18室(地下室)|蔡司NEON 40 EsB可用性

Zeiss NEON 40 EsB结合了高分辨率FE-SEM的成像和分析能力,使用经过验证的GEMINI镜头设计和先进的Canion FIB柱。此外,该CrossBeam系统具有多通道气体注入系统(GIS),用于沉积金属和绝缘层,还可以进行增强和选择性蚀刻。NEON 40的EsB(集成能量和角度选择性BSE)探测器在非常短的工作距离内提供先进的成分信息和超高的BSE成像。其他功能包括6轴全偏心电动舞台,用于样品观察的红外CCD相机,100mm气闸和集成的CrossBeam/SmartSEM GUI。


Student using the ZEISS NEON High Resolution SEM.

蔡司NEON高分辨率扫描电镜特性

  • 双光束SEM/FIB
  • 加速电压:0.1- 30kv
  • 电子源:肖特基发射极(Gemini透镜SEM柱)
  • 2- 30kv Ga液态金属离子源(Canion FIB柱)
  • 放大倍率:x20 ~ x900,000
  • 1.1 nm分辨率
  • 牛津电子背散射衍射(EBSD)相机和INCA Energy 250能量色散x射线微分析系统与分析漂移检测器可以提供成分和取向信息
  • 多通道气体喷射系统,用于金属和绝缘层的沉积以及增强和选择性蚀刻

这台显微镜是我们拥有的显微镜中性能最好的。它可用于许多专门用途,包括能够实时切片材料,沉积材料,侵蚀材料,进行电子层析成像重建,以及高分辨率扫描电子显微镜。

位于Sarkeys能源中心(SEC) E218 |AFEI/TFS量子扫描电子显微镜可用性  

仪器科学家:普雷斯顿·拉森博士

FEI/TFS Quanta Scanning Electron Microscope.
Images from the FEI/TFS Quanta Scanning Electron Microscope.

FEI量子SEM特性

  • W灯丝光源
  • 二次和背散射电子成像和变压成像探测器
  • 布鲁克SDD x射线分析系统,点,线,图,或元素分析的高光谱模式
  • MAPS软件用于大面积拼接

位于NML 205 b|日立TM3000可用性

这种扫描电子显微镜最特别的特点是,它是一个真正的桌面扫描电子显微镜,它是便携式的,它是为最小的标本制备而设计的。该显微镜设计轻巧,使用隔膜泵代替旋转泵和涡轮分子泵代替扩散泵来获得有用的观察真空。真空度也很低,所以它是一种半环境扫描电镜,对水分的容忍度很高(不像我们其他的电子显微镜!)扫描电镜功能通过触摸屏,并具有自动散光,聚焦,启动和对准。TM3000是一个严肃的SEM,但有一个足够简单的接口,允许它在课堂上使用。日立TM3000用于正常尺寸的样品。没有气闸。标本安装在高度调整的专用支架上,以优化操作,然后将扫描电镜向下泵送,直到绿色进度条表明显微镜准备就绪。该仪器的一个重要用途是筛选植物和昆虫突变体在遗传皇冠体育研究中,需要快速的标本交换和高分辨率不是。最小的标本准备是必需的,因为所使用的成像模式是容忍水分和充电。


日立TM3000的SEM特性

  • 加速电压:5或15kv,钨源
  • 放大倍率:x15 ~ x30000
  • 30纳米分辨率
  • 仅后向散射检测器
  • 电荷减少模式(使用更高的腔室压力)允许对未涂层样品进行成像
  • 易于使用和携带

这台显微镜于2010年加入实验室,用于演示、快速检查基因突变、学生项目和无数需要快速“查看”的样品。


用日立TM3000成像

日立TM3000是一种专门的扫描电镜,主要使用背散射电子对样品成像,而不是二次电子,后者需要更好的真空。这被称为“日立的电荷减少模式”,这意味着为了防止充电,在这种特殊的SEM中,污染物的容忍度比在更高真空环境中运行的更昂贵的SEM要高。下面的屏幕显示了控制,它们都是虚拟的(除了两个标本移动旋钮和泵按钮),位于计算机屏幕上。显微镜由触摸屏或鼠标控制,由用户选择。它是精心设计的,并在皇冠体育州丑虫大赛颁奖大会在学校的打击!

日立TM3000接受常规大小的标本,但它通常不使用存根。相反,材料直接安装到样品支架上,使用高度调节螺钉将其调整到适当的高度以进行聚焦。由于电荷补偿用于耗散电子轰击试样时的电荷积累,因此不需要涂层。